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工業用零部件的表面處理都是相當有講究的。比如：汽車的發動機軸、氣缸套筒、高速齒輪等主要性能部件都需要進行表面氮化處理，以提高硬度、耐磨性和疲勞極限。

氮化處理是利用氨在一定溫度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向鋼的表面層擴散，而形成鐵氮合金，從而改變工件表面的力學性能和物理、化學性質。右圖為國內某知名氮化爐生產廠家利用艾里卡特質量流量控制器控制參與氮化爐內反應的氨氣的質量流量。

氨氣在400℃以上發生分解反應：2NH3→2N+3H2

分解出的氮原子被工件吸收從而形成氮化層。將被加工工件置于滲氮爐內不銹鋼真空密封罐中，通過質量流量控制器精密控制氨氣的輸入流量，加熱到520℃，根據工件要求的氮化層厚度保持適當的時間，通常為10~60小時。整個過程中需要保持穩定的氨氣流量并根據氮勢的變化迅速調節裂解氨氣的流量，由此確保滲氮爐內穩定的氣氛及爐壓，使得被加工部件表面氮層均勻。

                   耐腐蝕質量流量控制器同時測量氮化爐多種變量參數

                                    質量流量、體積流量、溫度、絕對壓力、累計流量(選配)